研磨液供應系統｜客製化SDS
Slurry Delivery System Total Solution
| 產品編號 | SDS Customized-Total Solu |
| 1. 因應研磨液特性，提供相對應混料策略 2. 密免沉降，維持研磨液良好懸浮效果 3. 傳統或噴射攪拌方式，降低研磨液粒子摩擦，特別針對敏感性粒子設計 4. 精準的程式化混料策略 5. 模組化功能架構及製程檢測(Metrology)量測儀器 6. 降低酸鹼度(pH)震盪 7. 配合客戶需求，最佳化管線路徑設計 8. 活用的雙重過濾系統模組 9. 完善的線上(inline)潔淨作業能力 10. 更最佳化的雙緩衝桶槽、供應管線及三桶式混料設計 11. 原料桶槽形式：一般或特殊裝料桶(Drum)、噸方桶(Tote) 12. 客製化桶槽(Tank)樣式及容量(60/120/250/500/1,000公升或方桶、碟形或錐形桶) 13. 設備功能、系統架構及可選擇模組，以模組化呈現 *如一條路徑(電控或研磨液供應)故障，可立即啟動備援系統 *彈性選擇品質監控及控制功能 |