亞泰半導體設備股份有限公司
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產品介紹
化學供應系統|CDS
化學液輸送系統|CCB
Clean Coupling Booth
產品編號
CDS Customized-CCB
1. 輸送能力最大為30 L/min
2. 輸送方法N2 或 泵
3. 遮蔽材聚丙烯(PP)或不銹鋼(SUS)(用於溶劑)
4. 高效微粒空氣篩檢程式用於連結器區域
5. 安全性控制
A. 緊急停止按鈕
B. 緊急開關
C. 洩漏偵測
D. 用於溶劑的CO2滅火器
E. 壓力偵測
6. 具備取樣功能
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