2018.08.15

先進製程液體輸送系統SDS/CDS的全面進化模式



亞泰半導體專注與客戶共同創造價值

SEMICON Taiwan國際半導體展在南港展覽館盛大展出,慶祝台灣發展積體電路一甲子,以「IC 60大師論壇」為半導體發展盛事的揭幕,另外有許多專業論壇;其中,亞泰半導體設備(Asia ICMP)於創新技術發表會(TechXPOT)探討液體輸送系統如何與半導體平坦化製程精進結合,其價值與未來開創等議題。

隨著半導體先進製程發展,過去傳統的摩爾定律做法著重於微縮一小部分整合性的材料,求同時達到功率及成本的晶片製程精進。如今,著重於微奈米的製程,關鍵製程與廠務最適化整合,可提供半導體廠客戶在製程環境掌握更多的可控性及穩定品質的供應,進而達到更多先進製程的彈性。

細線化的製程中,晶圓平坦化佔有重要因素,而製程設備與研磨液 (Slurry) 的精準控制作為晶圓研磨優化重要關鍵。除此之外,化學研磨液供應系統(Slurry Dispense System;SDS)雖鮮為人知,卻肩負著精準乘載研磨液的完整樣態,供給化學機械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization;CMP)製程使用,因此SDS可說是牽一髮動全身,與製程品質息息相關的重要後盾。

因應晶圓廠的規模或使用特性的不同,有多樓層、大規模並適合量產使用的中央供應系統(Central SDS),以至於短路徑、小規模且富彈性的局部供應系統(Local SDS / Semi-auto SDS)。無論應用模式如何調整,不變的是針對研磨液的儲存、攪拌、輸送,必須保持一致性的品質要求。

因此,一個穩定可靠的供應系統,從入料端開始,研磨液的品質監測包括黏性、導電度、酸鹼度、粒子分佈、粒徑監測、管線溫溼度及壓力等,皆需完整考量。亞泰半導體多年來的實績證明,亞泰的完整規劃總是能盡善盡美;從設計、製造到安裝運轉,以完全符合研磨液體使用特性發展管理策略、獨家閥體及液體輸送零組件的應用。

亞泰半導體的徐技術長在TechXPOT創新技術發表會中分享半導體液體輸送系統的全面進化完整方案,並表示每一次亞泰受到客戶倚重,無論新建廠或改造計劃,都視為與客戶共同開創價值的一次收穫。

數年前,一客戶需求為跳脫既有的液體攪拌系統的範疇,期待在研磨液系統內執行固態和液態混合調配;在面對美國,日本競爭下,亞泰半導體擺脫舊有思維,以客戶需求出發為真諦,追求最精確有效的方法,探索客戶真切的需要後提出一個穩定可靠的客製化系統,完勝任務。

此後,亞泰更專注於為客戶解決問題並且創造價值。無論在空間利用率最大化、極小化輸送系統裝置、零死角閥體設計應用、網路全面且精準的品質監測方法,從累積價值數據鏈,與客戶共同成長。

面對國際競爭的局面,如何放眼創新,固守承諾與誠信,是設備暨系統工程廠和半導體客戶合作間重要的議題。亞泰半導體在許許多多客製化專案中,將前瞻的價值回饋給共同合作的客戶,重視客戶的Know-How,並肩與客戶持續見證下一個半導體盛世為目標。

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