SERVICE

服务项目

■ 系统代营运及管理｜Total Slurry Management

  • 负责研磨系统正常运作，更换日用桶，机台保养与清洁
  • 化学品及特殊气体危害性质了解(Material Safety Data Sheet, MSDS)
  • 除一般之操作及安全训练外，参与设施试车

■ 亚泰为提供完整的设备暨系统工程一站式服务｜Turnkey Solution

  • 化学液供应系统(chemical delivery system, CDS) 及 研磨液供应系统方案(slurry delivery system, SDS)，以作为半导体先进制程前进脚步的助力
  • 整合范畴包括研磨液供应中央(SDS Central)/单一设备(SDS Local)、化学液输送系统(CDS)、系统工程、制程质量监控管理系统、供应系统独家优化方案及客制化关键零组件等
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