研磨液供应系统｜客制化SDS
Slurry Delivery System Total Solution
| 产品编号 | SDS Customized-Total Solu |
| 1. 因应研磨液特性，提供相对应混料策略 2. 密免沉降，维持研磨液良好悬浮效果 3. 传统或喷射搅拌方式，降低研磨液粒子摩擦，特别针对敏感性粒子设计 4. 精准的程序化混料策略 5. 模块化功能架构及制程检测(Metrology)量测仪器 6. 降低酸碱度(pH)震荡 7. 配合客户需求，优化管线路径设计 8. 活用的双重过滤系统模块 9. 完善的在线(inline)洁净作业能力 10. 更优化的双缓冲桶槽、供应管线及三桶式混料设计 11. 原料桶槽形式：一般或特殊装料桶(Drum)、吨方桶(Tote) 12. 客制化桶槽(Tank)样式及容量(60/120/250/500/1,000公升或方桶、碟形或锥形桶) 13. 设备功能、系统架构及可选择模块，以模块化呈现 *如一条路径(电控或研磨液供应)故障，可立即启动备援系统 *弹性选择质量监控及控制功能 |