iTrident 三桶式混料｜Blend
Mixing and Blending Equipment
iTrident 智能三桶式研磨液混料供应系统
■ i 代表智慧整合intelligent & integrate
■ Trident 为海神呼风唤雨的神器
☆ 三个鱼叉构成，符合三桶式运作精神
☆ 代表三桶式对液体控制的绝佳掌控
| 产品编号 | SDS Customized-Blend |
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| 亚泰研磨液混料供应系统，以三桶式呈现，全机自动化操作包含入料模块、混料、供应及控制单元。针对半导体化学机械平坦化中所使用研磨液进行混料均匀搅拌并传输至制程端使用。 其他品牌的三桶式，个别桶仅可支持单一功能，因此无法承担任何停机作业的风险；然而，亚泰藉由独家的管路控制与稳压技术，达到3个桶子中每一个桶子皆可完成研磨液的搅拌、暂存及供应等多功能，使混料供应可弹性配置单桶或同时运作；即便任一桶需停机检修，皆可符合半导体厂不停线要求。 研磨液经由流体管线及控制阀注入底部为锥形的桶槽，以桶底喷流搅拌方式达到搅拌均态、避免沉积并且减少残液。系统搭载质量优化方案，包括湿氮气装置，可避免与空气接触的研磨液干燥硬化；质量分析模块进行研磨液补正；热交换模块，以个别控制桶内液体的温度；稳压脉波吸收模块，搭配输送泵组，以稳定研磨液供应的流量及压力。 本产品主要为有限的厂房配置下争取到更佳的物料处理坪效，节省空间之余更藉由机组零件运作频率降低达到设备使用寿命的延长，使总体成本的节省。在符合人因维修、空间节省及极简美学的设计下，提供更优化的安全冗余、混料更精确、且实时确保研磨液质量的供应系统。 |