亚泰半导体设备股份有限公司
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產品介紹
研磨液供应系统|SDS
缓冲设备|Buffer
Buffer Unit
产品编号
SDS Customized-Buffer
Poly/Oxide/STI/Cu/W
中央供给/局部供应
SDS类型:缓冲
WET N2>=94%
研磨液特性监测:PH值/比重/滴定仪/浓度/导电性
安全性:条形码/泄漏/压力/门锁
管路压力循环(CLC)控制
自动功能:自动稀释/槽的清洗/管路清洗/滤网清洗
混和精度:±10克
备用功能:(泵/槽/滤网/组件)
监视器系统:监控及数据撷取系统(SCADA)
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