亚泰半导体设备股份有限公司
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產品介紹
化学供应系统|CDS
化学液输送系统|CCB
Clean Coupling Booth
产品编号
CDS Customized-CCB
1.
输送能力最大为
30 L/min
2.
输送方法
N2
或
泵
3.
遮蔽材聚丙烯
(PP)
或不锈钢
(SUS)(
用于溶剂
)
4.
高效微粒空气过滤器用于链接器区域
5.
安全性控制
A.
紧急停止按钮
B.
紧急开关
C.
泄漏侦测
D.
用于溶剂的
CO2
灭火器
E.
压力侦测
6.
具备取样功能
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