2022.09.15

亚泰化学供应系统 兼顾经济面及ESG管理

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环境、社会与企业管理(Environmental/Social/GovernanceESG)作为企业永续经营的重要议题,SEMICON Taiwan 2022国际半导体展在「绿色概念制造区」规画了高科技厂房设施专区、循环经济专区、碳管理专区与智慧能源管理专区等四大展区,展现半导体供应链的永续发展与兴盛。
亚泰半导体设备(Asia IC MIC-ProcessASIAICMP)展出的「化学研磨液输送系统(Chemical/Slurry Supply SystemCDS/SDS)」提供了符合智能转型及低碳转型目标的双轨优势,精准地在达成厂务和制程需求的前提下,透过与半导体客户共创更佳的「信任价值」,即为发展出同时兼顾经济面及ESG管理的解决方案。
以三桶式研磨液供应系统iTrident为例,可在为有限的厂房配置下争取到更佳的物料处理坪效,节省空间之余更藉由机组零件运作频率降低达到设备使用寿命的延长,使从机台建置到操作维护,总体成本的节省。在符合人因维修、空间节省及极简美学的设计下,提供更优化的安全冗余、混料更精确、且实时确保研磨液质量的供应系统。
设备作业管理可视化而言,亚泰将数字神经布局于质量传感器和流量控制,人机操作采用「大数据」以及「传感器」的整合,提供客户智能技术的应用。以「生产信息可视化」、「故障预测」、「精度补偿」、「自动参数设定」、「自动控制」及「自动排程」达到智能化的产品功能。例如,透过软件接口,可得知输送液体至设备内的桶槽状态,包括压力稳定、搅拌时程和效率的匹配,以及输出液体的质量检核。
透过软件接口,搭配背景程序与检测仪器的连动,达到最佳的运转效果,并将其作业数据保留至智能数据库,以便与其他作业的大数据进行连接。针对智能监测所产生的各项纪录数据,动态保存于数据库,且此数据库具双备份功能(Redundancy),即便一数据库失效,另一数据库仍能保存所有纪录并且维持智能作业的运转,作为大数据集合的基础。
亚泰的设备依照客户使用者的需求,进行智能化模块配置,包括供应量、供应距离、供应液体之复杂程度,皆为动态调整之关键。以使用端的用量及分楼层规划,控制架构基本可分为两大类型,包括:一、适合试产线、实验线或迷你晶圆厂;二、适合大量物料供应,有多层in-line在线质量监控管理的大型晶圆厂,客制化设计可因应各类型需求。亚泰所提供的解决方案,符合安全性、便利性、创新与成本节省的概念,达成供应链环保绿能及产业永续经营目标。

环境、社会与企业管理(Environmental/Social/GovernanceESG)作为企业永续经营的重要议题,SEMICON Taiwan 2022国际半导体展在「绿色概念制造区」规画了高科技厂房设施专区、循环经济专区、碳管理专区与智慧能源管理专区等四大展区,展现半导体供应链的永续发展与兴盛。
亚泰半导体设备(Asia IC MIC-ProcessASIAICMP)展出的「化学研磨液输送系统(Chemical/Slurry Supply SystemCDS/SDS)」提供了符合智能转型及低碳转型目标的双轨优势,精准地在达成厂务和制程需求的前提下,透过与半导体客户共创更佳的「信任价值」,即为发展出同时兼顾经济面及ESG管理的解决方案。
以三桶式研磨液供应系统iTrident为例,可在为有限的厂房配置下争取到更佳的物料处理坪效,节省空间之余更藉由机组零件运作频率降低达到设备使用寿命的延长,使从机台建置到操作维护,总体成本的节省。在符合人因维修、空间节省及极简美学的设计下,提供更优化的安全冗余、混料更精确、且实时确保研磨液质量的供应系统。
设备作业管理可视化而言,亚泰将数字神经布局于质量传感器和流量控制,人机操作采用「大数据」以及「传感器」的整合,提供客户智能技术的应用。以「生产信息可视化」、「故障预测」、「精度补偿」、「自动参数设定」、「自动控制」及「自动排程」达到智能化的产品功能。例如,透过软件接口,可得知输送液体至设备内的桶槽状态,包括压力稳定、搅拌时程和效率的匹配,以及输出液体的质量检核。
透过软件接口,搭配背景程序与检测仪器的连动,达到最佳的运转效果,并将其作业数据保留至智能数据库,以便与其他作业的大数据进行连接。针对智能监测所产生的各项纪录数据,动态保存于数据库,且此数据库具双备份功能(Redundancy),即便一数据库失效,另一数据库仍能保存所有纪录并且维持智能作业的运转,作为大数据集合的基础。
亚泰的设备依照客户使用者的需求,进行智能化模块配置,包括供应量、供应距离、供应液体之复杂程度,皆为动态调整之关键。以使用端的用量及分楼层规划,控制架构基本可分为两大类型,包括:一、适合试产线、实验线或迷你晶圆厂;二、适合大量物料供应,有多层in-line在线质量监控管理的大型晶圆厂,客制化设计可因应各类型需求。亚泰所提供的解决方案,符合安全性、便利性、创新与成本节省的概念,达成供应链环保绿能及产业永续经营目标。

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