2021.11.24

亚泰智慧三桶式研磨液混料供应系统获颁2022台湾精品奖

亞泰iTrident研磨液混料供應系統獲頒2022台灣精品獎實況。亞泰
亚泰iTrident研磨液混料供应系统获颁2022台湾精品奖实况。亚泰
亚泰再次受到台湾精品奖的肯定,1124日由刘美凤总经理代表领奖。受到2022台湾精品奖肯定的「研磨液混料供应系统」,将其系列命名为iTrident,带有智慧控制及海神神器三叉戟的结合之意。
iTrident系列以三桶式呈现,全机自动化操作包含入料模块、混料、供应及控制单元。针对半导体化学机械平坦化中所使用研磨液进行混料均匀搅拌并传输至制程端使用。
当其他品牌的三桶式,个别桶仅可支持单一功能,因此无法承担任何停机作业的风险;亚泰藉由独家的管路控制与稳压技术,达到三个桶子中每一个桶子皆可完成研磨液的搅拌、暂存及供应等多功能,使混料供应可弹性配置单桶或同时运作;即便任一桶需停机检修,皆可符合半导体厂不停线要求。有如三叉戟呼风唤雨之力,达到三个混料搅拌桶,皆可在完美搭配达到搅拌及输送要求。
由控制阀及流体管线将研磨液注入底部为锥形的桶槽,以桶底喷流搅拌方式达到搅拌均态、避免沉积并且减少残液。系统搭载质量优化方案,包括湿氮气装置,可避免与空气接触的研磨液干燥硬化;质量分析模块进行研磨液补正;热交换模块,以个别控制桶内液体的温度;稳压脉波吸收模块,搭配输送泵组,以稳定研磨液供应的流量及压力。各项功能经过许多客户的优化验证,并由亚泰取得多个国家的独家专利认可。
iTrident主要为有限的厂房配置下争取到更佳的物料处理坪效,节省空间之余更藉由机组零件运作频率降低达到设备使用寿命的延长,使总体成本的节省。在符合人因维修、空间节省及极简美学的设计下,提供更优化的安全冗余、混料更精确、且实时确保研磨液质量的供应系统。
iTrident是亚泰研发、设计、电控、制造、品管等专业团队,累积多年经验后提出又一跨时代的厂房液体输送系统,再次以「倾听、懂你、成就需求」的企业精神,提供给符合客户需求的研磨液混料供应系统。
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