2018.09.11
研磨液系统工程为平坦化后盾 随IC60荣耀精进
亚泰半导体参展SEMICON Taiwan，左为徐宏信技术长，右为刘美凤总经理
为庆贺半导体集成电路在台湾发展一甲子，于国际半导体展 SEMICON Taiwan 展期前后举办IC 60一系列大师论坛及技术研讨活动。在60年间，台湾孕育了许多半导体供应链技术支持厂商，见证各个制程世代精进的荣景并发展许多世界级的晶圆厂运作成功关键。
其中，半导体研磨液供应及混料系统 (Slurry Dispensing System；SDS) 作为晶圆平坦化所需的研磨液厂务支持系统，负责研磨液的乘载、调配、混和、运输及保存，以确保其研磨液中的颗粒分布样态及浆料液体的整体条件符合制程需求。
研磨液供料系统包含入料作业区的液体入料作业及储存设备、附属厂房区 (Sub-Fab) 的混合及供料设备、晶圆制造区 (Fab) 的分料系统，及串联各作业区的系统工程。为提供最适化的整体系统运作，系统工程厂商需层层挖掘晶圆厂的需求并逐一完善。
由于研磨液的输送讲究的工艺内涵较一般化学液体运输复杂，在作业环境需考虑湿度、降低死角的流道设计、缜密的通信链接等等；研磨液体的质量控管更是须因应各种类别的研磨液进行最适化调整。因此，亚泰半导体设备 (Asia ICMP) 作为研磨液供料系统的整体方案提供者，多年来专注于仔细聆听客户的声音，发掘并完全理解客户的需求，以找出适合各个客户的可实行方案，创造出适合不同客户的差异性优势系统。
亚泰半导体的徐宏信技术长表示，为体现不同客户的制程价值，亚泰提供的全方位方案不仅止于供料设备及系统工程的对接，更囊括市面上具竞争力的质量分析仪器，整合成为系统管理的优势方案，并研发自制专属于研磨液使用的功能模块，包括近期推出符合自动化及无人化的安全入料作业，皆为提前一步替客户着想，确保产业链能共同面对快速进展及变化的需求。
为符合快速响应及精准服务的主轴，亚泰半导体有自主研发阀件及供料零组件能力，并于厂内具备计算机车床CNC设备，以非制式的客制化产品，为客户解决问题并创造价值。亚泰半导体刘美凤总经理表示，亚泰走过二十余年坚持走出不一样的路，提供快速响应的客制化系统，每一套机台都是独一无二，唯有优势方案不断传承进化，此为该公司的解决方案魅力所在。
并表示，亚泰曾提出许多大胆尝新的改善计划，有幸受到客户的青睐，愿意共同创新，才能累积领先业界的卓越实绩。预防胜于补救，无论在成本面或技术精进面皆为如此。因此，如何透过确认客户的疑虑，提出创新方案，并积极实验确效，是身为半导体供应链一份子的自觉，也是亚泰供应系统全方位解决方案专家的自我要求。唯有由大处着眼，小处着手，找寻差异化的优势，才能创造产品、客户及产业供应链的三赢局面