2018.08.15
先进制程液体输送系统SDS/CDS的全面进化模式
亚泰半导体专注与客户共同创造价值
SEMICON Taiwan国际半导体展在南港展览馆盛大展出，庆祝台湾发展集成电路一甲子，以「IC 60大师论坛」为半导体发展盛事的揭幕，另外有许多专业论坛；其中，亚泰半导体设备(Asia ICMP)于创新技术发表会(TechXPOT)探讨液体输送系统如何与半导体平坦化制程精进结合，其价值与未来开创等议题。
随着半导体先进制程发展，过去传统的摩尔定律做法着重于微缩一小部分整合性的材料，求同时达到功率及成本的芯片制程精进。如今，着重于微奈米的制程，关键制程与厂务最适化整合，可提供半导体厂客户在制程环境掌握更多的可控性及稳定质量的供应，进而达到更多先进制程的弹性。
细线化的制程中，晶圆平坦化占有重要因素，而制程设备与研磨液 (Slurry) 的精准控制作为晶圆研磨优化重要关键。除此之外，化学研磨液供应系统(Slurry Dispense System；SDS)虽鲜为人知，却肩负着精准乘载研磨液的完整样态，供给化学机械平坦化(Chemical-Mechanical Planarization；CMP)制程使用，因此SDS可说是牵一发动全身，与制程质量息息相关的重要后盾。
因应晶圆厂的规模或使用特性的不同，有多楼层、大规模并适合量产使用的中央供应系统(Central SDS)，以至于短路径、小规模且富弹性的局部供应系统(Local SDS / Semi-auto SDS)。无论应用模式如何调整，不变的是针对研磨液的储存、搅拌、输送，必须保持一致性的质量要求。
因此，一个稳定可靠的供应系统，从入料端开始，研磨液的质量监测包括黏性、导电度、酸碱度、粒子分布、粒径监测、管线温湿度及压力等，皆需完整考虑。亚泰半导体多年来的实绩证明，亚泰的完整规划总是能尽善尽美；从设计、制造到安装运转，以完全符合研磨液体使用特性发展管理策略、独家阀体及液体输送零组件的应用。
亚泰半导体的徐技术长在TechXPOT创新技术发表会中分享半导体液体输送系统的全面进化完整方案，并表示每一次亚泰受到客户倚重，无论新建厂或改造计划，都视为与客户共同开创价值的一次收获。
数年前，一客户需求为跳脱既有的液体搅拌系统的范畴，期待在研磨液系统内执行固态和液态混合调配；在面对美国，日本竞争下，亚泰半导体摆脱旧有思维，以客户需求出发为真谛，追求最精确有效的方法，探索客户真切的需要后提出一个稳定可靠的客制化系统，完胜任务。
此后，亚泰更专注于为客户解决问题并且创造价值。无论在空间利用率最大化、极小化输送系统装置、零死角阀体设计应用、网络全面且精准的质量监测方法，从累积价值数据链，与客户共同成长。
面对国际竞争的局面，如何放眼创新，固守承诺与诚信，是设备暨系统工程厂和半导体客户合作间重要的议题。亚泰半导体在许许多多客制化项目中，将前瞻的价值回馈给共同合作的客户，重视客户的Know-How，并肩与客户持续见证下一个半导体盛世为目标。